對于半導(dǎo)體器材、印制電路板等外表形狀雜亂且易損壞的器材，其外表污物難于清潔的情況，介紹了一種根據(jù)SPCE061A單片機操控的超聲波清潔機。

根據(jù)超聲波清潔原理，剖析了超聲波清潔機的作業(yè)進程，對超聲波清潔機的操控電路、驅(qū)動電路、頻率主動盯梢技能、阻抗匹配及系統(tǒng)軟件設(shè)計辦法進行了具體介紹。該超聲波清潔機能夠完成頻率主動盯梢、功率調(diào)理及守時等功用，別的有振動、掃描兩種作業(yè)辦法可供挑選。試驗標明，該超聲波清潔機作業(yè)牢靠，清潔作用好。

超聲清潔是使用超聲波在清潔液中的空化作用、加速度作用及直進流作用，發(fā)生的沖擊，將浸沒在清潔液中的工件內(nèi)外外表的污物震落剝離下來。現(xiàn)在常用的超聲波清潔機中，以空化作用和直進流作用為主。超聲波清潔機shou要應(yīng)用于電子、光學(xué)和醫(yī)療范疇，用來清潔半導(dǎo)體器材、印制電路板、玻璃器具等。

超聲波清潔機由超聲波發(fā)生器、超聲波換能器、超聲清潔槽及操控電路構(gòu)成。超聲波清潔機shou要使用超聲波發(fā)生器發(fā)生超聲波信號并傳入超聲波換能器，超聲波換能器將超聲波電能轉(zhuǎn)換為高頻機械振動并傳入清潔液中，在清潔液中發(fā)生空化作用，然后到達超聲波清潔的目的[4-5]。

超聲波清潔機操控的關(guān)鍵是頻率盯梢，也即是使超聲波電源輸出頻率和換能器頻率共同，這么才干構(gòu)成共振，使換能器處于**好作業(yè)狀況，清潔作用**好。現(xiàn)在，常用的頻率盯梢技能采用鎖相環(huán)辦法，該辦法簡略易完成，盯梢作用好，但功用單一。

這篇文章采用單片機完成全數(shù)字操控，以便于設(shè)置有關(guān)參數(shù)。該機的shou要功用有頻率主動盯梢、功率調(diào)理、振動作業(yè)辦法、掃描作業(yè)辦法、守時功用。